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高純度と優れた耐熱特性を兼ね合わせた石英ガラスチューブは、半導体産業でシリコンウェーハの加工処理に最適な炉の構成要素となっています。この素材は、加工処理における幅広い温度勾配と加熱速度に耐えることができます。高純度という特性によって、ウェーハの歩留まりを高める上で必要な、汚染の少ない環境を作り上げることができます。
今日の最先端の半導体加工における厳しい基準に対して、反応室で使用する素材を絶えず改良していくことが必要です。こうした改良への努力はクオーツの製造業者に強く要求され、大口径化と高純度化が必要となってきています。Momentive Performance Materialsはこの両方の要求に応えています。
石英チューブは、最高で直径が550 mm までのサイズの豊富な製品を揃えています。直径と肉厚の寸法は厳しく管理されています。ご要望により、特注の重い肉厚のものも提供いたします。
新しい良質の原料を捜し求め、生産設備を拡張・近代化し、品質管理機能を改善することで、 Momentive は石英ガラスチューブの汚染レベルを 25 ppm 未満まで低減し、アルカリレベルは 1 ppm 未満まで低減しています。
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GE 214 LD
Momentiveの GE 214 LD は直径が最大の業界標準のチューブです。きわめて特殊なものを除き、この低コストのチューブは、あらゆる種類の使用条件において、拡散工程や CVD 工程に必要な、様々な特性すなわち高純度、つぶれに対する変形抵抗性、炉の長寿命化、などの特性を提供しています。
高温でも優れた性能を発揮できるよう、GE の GE 214 LDH の炉芯管は、プロセス技術者が高温でのウェーハ荷重による影響をバランス良く処理できるようになっています。
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解説
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一般的な用途
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特性がGE 214 と同様に優れている透明石英ガラスです。GE 214 よりも直径の大きなものを必要とする用途に使用します。
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半導体業界では、拡散、酸化および LPCVD 処理に使用されています。
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GE 224 LD - 低アルカリの石英チューブ
半導体業界がより高密度のデバイスを求めるなか、ウェーハ歩留まりの管理において、炉内の雰囲気汚染がますます重要になってきています。汚染源の一つはナトリウムです。これは溶融石英の生産に使用される珪砂にもともと存在するものです。これを除去しなければ、この非常に易動度の高いイオンが、 MOS やバイポーラ素子の電気特性を非常に不安定にしてしまう可能性があります。
重要度の高い用途に向けて、 Momentive はグレード 224 の低アルカリ石英ガラスチューブを開発しました。これは自然に存在するアルカリの 90 % までを除去する特殊な工程で製造されています。この工程では一般的にナトリウムのレベルを 0.1 ppm （通常は 0.7 ppm ）に抑え、カリウムを大幅に減らし、リチウムをほぼ除去します。
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解説
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一般的な用途
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GE 214 と似た高い粘性特性や外観特性を持ちます。アルカリ含有量を PPB の範囲まで低減するのと同じ特殊な方法を使用します。
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分析での痕跡程度の極微量のアルカリ量でさえもチップの歩溜りを低下してしまう、重要な半導体拡散システムで使用されています。
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GE 244 LD - 低アルカリ / 低アルミニウムのクオーツチューブ
このタイプは溶融石英のアルミニウムレベルが問題になる用途のために特別に開発されたものです。GE 244 LD のアルミニウムレベルは一般に 8 ppm です。
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GE 214 真空容器
半導体処理装置の中には、処理容器としてクオーツの真空容器が必要なものがあります。Momentive は、真空容器用の最終製品の加工業者が利用できる標準的な真空容器や半加工品を厳選した一覧表を提供しています。この真空容器があれば、上下のフランジを加えるだけで高品質の最終製品を製造することができます。
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514/544 不透明リング
高温で使用する処理室を作る際には、一般的に処理室を形作るチューブに不透明石英断面からなる部分を追加します。この断面を作るのに使用される不透明の石英リングは、チューブ状の管壁（一般的に光導波管という）を伝わる赤外線を遮断します。この赤外線を遮断することは、チェンバーを密閉するのに使用される O リングを保護するのに重要です。
Momentive では、標準的な純度（ 214 チューブと同等）の 514 および高純度（ 244 のチューブと同等）の544 で不透明リングを製造しています。これらのリングは他の製造方法による不透明リングの代わりに使用できる経済的な方法です。通常の標準的な処理室のサイズはすべて揃えています。
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低水酸基 (OH)-
Momentive の石英ガラスチューブがウェーハ処理工程における広範な熱勾配と化学環境に耐える理由の一つは、大舶ｪの規格が 10 ppm 未満という (OH)- 含有量を有することです。
(OH)- 含有量が低いと、拡散処理温度でのつぶれ量を最小限に抑え、失透の進行を効果的に阻止します。
水酸基が低いため、Momentive Performance Materialsのチューブは、高温で汚染物質を大部分放出するための特殊コーティングを必要としません。
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