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クオーツ >> 製品 >> ルツボ >> 化学特性

化学特性

ルツボ内の不純物量を低くすると、重要な意味を持つウェーハ特性が、確実に向上します。

  • アルミニウムとホウ素が少ない場合には、耐性を高めることができます。
  • アルカリが少ない場合には、 OISF を低減することができます。

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基本化学

- 510, 520, 530

- Momentive 独自の高純度化処理による低アルカリ条件
- 567. 577. 587

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アルミニウムとホウ素の低減

- 512, 522, 532

- Momentive 独自の高純度加工処理による低アルカリ条件
- 568, 578, 588

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追加情報およびダウンロード

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代表的な微量元素成分 (重量ごとの ppm)
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