Quarzglas


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Chemische Eigenschaften

Der geringe Gehalt an Verunreinigungen im Tiegel garantiert optimale Wafer-Eigenschaften.

  • Durch den geringen Gehalt an Aluminium und Bor werden gute Widerstandswerte erzielt.
  • Der verringerte Alkaligehalt führt zu einer Reduzierung der Stapelfehler.

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Chemische Grundlagen

- 510, 520, 530

mit einem geringer Alkaligehalt durch das spezielle Momentive Performance Materials-Verfahren zur Herstellung hochreinen Materials
- 567, 577, 587

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Geringer Aluminum- und Borgehalt

- 512, 522, 532

mit einem geringen Alkaligehalt durch das spezielle Momentive Performance Materials-Verfahren zur Herstellung hochreinen Materials
- 568, 578, 588

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Zusätzliche Informationen und Downloads

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Tabelle: Typische Spurenelementanteile (ppm Gewicht)
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